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蓝宝石观察窗

   真空钎焊蓝宝石观察窗实现漏率 <1×10⁻¹⁰ mbar·L/s(氦质谱),工作温度 -100~450°C,采用金属键合密封,无弹性体老化风险。该产品的标准规格与定制服务,适用于半导体PVD/CVD、超高真空MBE、红外探测器封装、高压反应釜等苛刻环境。

   本产品采用高纯度光学级单晶蓝宝石与不锈钢/钛合金法兰,通过超高真空钎焊工艺实现气密性金属封装,兼具紫外至中红外的宽光谱透光性(150~5500nm)。

  • 密封工艺
    高真空钎焊(真空炉内金属键合)
  • 法兰标准
    CF(ConFlat)、KF(快速卡钳)、ISO-F/K、VGF
  • 法兰材质
    304L / 316LN 不锈钢,钛合金(无磁)
  • 窗口直径
    Φ10 mm ~ Φ160 mm(可定制至170mm以上)
  • 厚度范围
    1 mm ~ 30 mm(依耐压需求定制)
  • 透光范围(未镀膜)
    150 nm ~ 5500 nm(紫外至中红外)
  • 透光率(未镀膜)
    ≥85% @ 可见光;~50%~70% @ 250 nm
  • 折射率 @ 633 nm
    ≈1.76
  • 平整度(面型)
    ≤λ/4 @633nm(标准),λ/10(高精度)
  • 平行度
    <3 弧分
  • 表面质量(S/D)
    20/10(光学级)
  • 泄漏率(氦质谱)
    <1×10⁻¹⁰ mbar·L/s He
  • 工作温度范围
    -100℃ ~ +450℃(CF法兰)
  • 烘烤除气温度
    最高450℃
  • 晶向
    C面(0001)、A面、R面可选