蓝宝石观察窗
真空钎焊蓝宝石观察窗实现漏率 <1×10⁻¹⁰ mbar·L/s(氦质谱),工作温度 -100~450°C,采用金属键合密封,无弹性体老化风险。该产品的标准规格与定制服务,适用于半导体PVD/CVD、超高真空MBE、红外探测器封装、高压反应釜等苛刻环境。
本产品采用高纯度光学级单晶蓝宝石与不锈钢/钛合金法兰,通过超高真空钎焊工艺实现气密性金属封装,兼具紫外至中红外的宽光谱透光性(150~5500nm)。
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密封工艺高真空钎焊(真空炉内金属键合)
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法兰标准CF(ConFlat)、KF(快速卡钳)、ISO-F/K、VGF
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法兰材质304L / 316LN 不锈钢,钛合金(无磁)
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窗口直径Φ10 mm ~ Φ160 mm(可定制至170mm以上)
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厚度范围1 mm ~ 30 mm(依耐压需求定制)
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透光范围(未镀膜)150 nm ~ 5500 nm(紫外至中红外)
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透光率(未镀膜)≥85% @ 可见光;~50%~70% @ 250 nm
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折射率 @ 633 nm≈1.76
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平整度(面型)≤λ/4 @633nm(标准),λ/10(高精度)
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平行度<3 弧分
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表面质量(S/D)20/10(光学级)
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泄漏率(氦质谱)<1×10⁻¹⁰ mbar·L/s He
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工作温度范围-100℃ ~ +450℃(CF法兰)
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烘烤除气温度最高450℃
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晶向C面(0001)、A面、R面可选